[实用新型]一种通用型机械手的传片测试装置

权利要求书

1.一种通用型机械手的传片测试装置，其特征在于，包括机架一（1）、机架二（2），机架二通过限位杆（3）与机架一（1）相连；机架一（1）的数量为一个，机架二（2）的数量包括但不限于两个；机械手（9）装在机架一（1）上，校准机构（10）装在机架二（2）上；

其中，限位杆（3）通过一端连接在机架一（1）顶部基板上不同排布角度的限位槽一（7），另一端连接在机架二（2）顶部基板上不同间距的限位槽二（8），实现机械手不同角度、不同形程传送晶圆的模拟测试，校准机构（10）通过检测机械手（9）放置晶圆的位置，来判断机械手传片的精度和可靠性。

2.根据权利要求1所述的通用型机械手的传片测试装置，其特征在于，所述的机架一（1）顶部的基板为圆形，机架二顶部的基板为矩形。

3.根据权利要求1或者2所述的通用型机械手的传片测试装置，其特征在于，所述的机架一（1）顶部的基板边缘均匀设有一个以上的限位槽一（7），机架二顶部的基板上设有一个以上不同间距的限位槽二（8），相邻限位槽一（7）之间的角度、相邻限位槽二（8）之间的间距排布根据实际设备所需行程和安装角度进行设计。

4.根据权利要求3所述的通用型机械手的传片测试装置，其特征在于，限位槽一（7）和限位槽（8）二均为矩形，限位槽一（7）的一端呈切边垂直结构。

5.根据权利要求1所述的通用型机械手的传片测试装置，其特征在于，所述的机架一和机架二的底部均安装有脚轮（4）和调平支腿（5）；机架一和机架二通过脚轮（4）和调平支腿（5）进行移动和调平。

6.根据权利要求1所述的通用型机械手的传片测试装置，其特征在于，机架一（1）两侧的底部固定有固定弯板（6），机架一借助固定弯板强化在地面的稳定性。

7.根据权利要求1所述的通用型机械手的传片测试装置，其特征在于，所述的限位杆（3）截面呈“L”型，两端设有呈矩形结构的凸块和腰形通孔，两端分别与限位槽一（7）、限位槽二（8）配合，实现限位杆一端的主体侧壁与限位槽一（7）一端垂直切边共面限位配合，另一端的矩形凸块与限位槽二（8）的限位配合。