[实用新型]一种基于MEMS技术的宽量程氢气传感器有效
| 申请号： | 202221030248.9 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN217212397U | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 周子新;付聪;唐文颖;李魏 | 申请（专利权）人： | 四川拓景科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/16 | 分类号： | G01N27/16 |
| 代理公司： | 成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙) 51239 | 代理人： | 黄芷 |
| 地址： | 621000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于MEMS技术的宽量程氢气传感器，包括氢气传感器芯片的主材料硅芯片，镀于所述硅芯片上的氮化硅薄膜，设置于所述氮化硅薄膜下方的通孔，设置于所述氮化硅薄膜上的电极R1、R2，以及设置于所述硅芯片上的电极R3。本实用新型的氮化硅薄膜厚度为1500nm，与现有的300‑1000nm相比，厚度增加，其机械强度变大，不容易开裂。且本实用新型在氮化硅薄膜下方开设通孔，使氮化硅薄膜处于悬空的状态，有助于降低氮化硅上电极加热时的热量损失，提高测量灵敏度，进一步提高测量的稳定性，减小测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 技术 量程 氢气 传感器 | ||
【主权项】：
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