[实用新型]真空镀膜机构及镀膜装置有效
| 申请号： | 202221014659.9 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN217324256U | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 王君;闫超颖;依君;梁惠朋 | 申请（专利权）人： | 沈阳爱科斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23F1/08;C23C8/36 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 余菲 |
| 地址： | 110000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种真空镀膜机构及镀膜装置，涉及镀膜设备技术领域，以在一定程度上优化真空镀膜机构结构，提高真空镀膜机构能够镀膜的种类。本实用新型提供的真空镀膜机构,包括筒体以及门体；门体的一侧与筒体的一侧转动连接，筒体与门体围设成镀膜室，筒体上形成有排气口，能够将镀膜室内的气体排出；镀膜室内对应筒体与门体的位置形成有多个安装位，且多个安装位对应布设有弧源机构、刻蚀机构、加热机构以及离子枪机构，且镀膜室内还设有阳极组件，阳极组件与离子枪机构相对设置。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 机构 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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