[实用新型]源瓶冷却设备及源瓶冷却系统有效
| 申请号： | 202220986453.6 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN217083048U | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 潘笑星;王立江;李伟;王庆云 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F25D17/02 | 分类号： | F25D17/02;F25D23/06;F25D29/00 |
| 代理公司： | 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 | 代理人： | 唐维虎 |
| 地址： | 132000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供的源瓶冷却设备及源瓶冷却系统，涉及扩散气体源温控技术领域。可以将源瓶放置在源瓶冷却设备的箱体内，并通过位于箱体内的冷却管中流动的冷却液对源瓶进行降温，如此，可以无需购买价格高昂的电子源温控制器进行源瓶控温，可以节省生产成本。同时上述结构主要为机械结构便于在出现故障时拆卸维护，可减低设备因维护困难导致的故障率，确保源瓶使用的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 设备 冷却系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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