[实用新型]源瓶冷却设备及源瓶冷却系统

说明书

本申请实施例提供的源瓶冷却设备及源瓶冷却系统，涉及扩散气体源温控技术领域。可以将源瓶放置在源瓶冷却设备的箱体内，并通过位于箱体内的冷却管中流动的冷却液对源瓶进行降温，如此，可以无需购买价格高昂的电子源温控制器进行源瓶控温，可以节省生产成本。同时上述结构主要为机械结构便于在出现故障时拆卸维护，可减低设备因维护困难导致的故障率，确保源瓶使用的稳定性。

技术领域

本实用新型实施例涉及半导体扩散工艺中的扩散气体源温控技术领域，具体而言，涉及一种源瓶冷却设备及源瓶冷却系统。

背景技术

在半导体扩散工艺中，卧式扩散炉需使用气体(比如，三氯乙烯)进行管道干洗，目前对于气体源瓶控温均使用电子源温控制器，电子源温控制器控温精度高，但长期使用后，内部电子器件易老化和出现控温不稳、无法控温和各种报警等故障，电子源温控制器采购资金昂贵，检查维修困难，大大增加设备故障率，严重影响设备使用稳定性。

实用新型内容

为了克服上述技术背景中所提及的技术问题，本申请实施例提供一种源瓶冷却设备及源瓶冷却系统。

本申请的第一方面，提供一种源瓶冷却设备，所述源瓶冷却设备包括用于容纳源瓶的箱体，所述箱体包括箱底和箱顶，所述箱顶设置有供所述源瓶进出的开口；

所述箱体还包括两层箱壳以及位于所述两层箱壳之间的冷却管路，所述冷却管路沿着所述箱体的侧壁方向螺旋缠绕，以通过流经所述冷却管路中的冷却液对容纳在所述源瓶冷却设备中的源瓶进行降温。

在本申请的一种可能实施例中，所述箱体还包括沿所述箱底朝向所述箱顶方向开设的源瓶容量观测窗口；

所述源瓶容量观测窗口由开设在所述箱底朝向所述箱顶方向的开孔以及嵌设在所述开孔中的透明隔热挡板组成。

在本申请的一种可能实施例中，所述源瓶冷却设备还包括仪表安装区，所述仪表安装区固定在所述箱体上；

所述源瓶冷却设备还包括温度显示仪表以及测温热偶，所述温度显示仪表安装在所述仪表安装区，所述温度显示仪表与所述测温热偶连接，所述测温热偶用于测量所述源瓶的内部温度。

在本申请的一种可能实施例中，所述源瓶冷却设备还包括流量调节阀；

所述冷却管路还包括位于所述箱体外的进水接头与出水接头，其中，所述进水接头距所述箱底的高度大于所述出水接头距所述箱底的高度；

所述流量调节阀设置在所述进水接头位置处，所述流量调节阀用于调节所述冷却管路中冷却液的流速。

在本申请的一种可能实施例中，所述源瓶冷却设备还包括用于调平所述箱体的多个地脚；

所述多个地脚设置在所述箱底，所述多个地脚不同线且所述多个地脚围合成图案的几何中心与所述箱底的几何中心重合。

在本申请的一种可能实施例中，所述箱体采用不锈钢制作而成；

所述冷却管路为铜管，所述冷却管路的孔径为1/8～5/8英寸。

本申请的第二方面，提供一种源瓶冷却系统，所述源瓶冷却系统包括源瓶冷却设备及源瓶；

所述源瓶冷却设备包括箱体，所述箱体包括箱底和箱顶，所述箱顶设置有开口；

所述箱体还包括两层箱壳以及位于所述两层箱壳之间的冷却管路，所述冷却管路沿着所述箱体的侧壁方向螺旋缠绕；

所述源瓶通过所述开口放置并容纳在所述箱体内，或通过所述开口从所述箱体内取出，所述源瓶冷却设备通过流经所述冷却管路中的冷却液对容纳在所述源瓶冷却设备中的源瓶进行降温。

在本申请的一种可能实施例中，所述源瓶为三氯乙烯源瓶，所述源瓶包括热偶插孔；