[实用新型]外延沉积设备有效
| 申请号： | 202220972890.2 | 申请日： | 2022-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN218321744U | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 王树林;曹建伟 | 申请（专利权）人： | 浙江求是半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/12;C30B25/14 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 陈靖康 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种外延沉积设备，本申请提供的外延沉积设备包括上下料台、操作台、机械臂组件和多个外延生长装置，上下料台以及多个外延生长装置间隔分布于操作台的外周，机械臂组件一端可活动地连接操作台，另一端用于夹取硅片，机械臂组件能够在上下料台和操作台之间转运硅片。本申请提供的外延沉积设备解决了现有的外延沉积设备的硅片转运效率偏低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 沉积 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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