[实用新型]一种光罩吹扫机载物台上光罩倾斜度侦测的设备有效
| 申请号： | 202220923117.7 | 申请日： | 2022-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN217689769U | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 彭新蕾;高中原 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01C9/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 陈钧 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种光罩吹扫机载物台上光罩倾斜度侦测的设备，其特征在于，载物台上设有两组平行设置的光罩倾斜度感应器，所述光罩倾斜度感应器包括一发射器和一接收器，所述发射器发出平行于所述载物台的光束被所述接收器接收。本实用新型提供一种光罩吹扫机载物台上光罩倾斜度侦测的设备，优化了现有技术在垂直感应器方向单侧翘起时不能侦测到的情况，既大大增加了光束的检测覆盖面积，又减少了漏报几率，改进效果非常明显，检测准确率得到大幅提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光罩吹扫 机载 上光 倾斜度 侦测 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华虹半导体（无锡）有限公司，未经华虹半导体（无锡）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202220923117.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电池包
- 下一篇：一种CCD视觉贴标机的产品进料定位机构
