[实用新型]一种光罩吹扫机载物台上光罩倾斜度侦测的设备有效
| 申请号： | 202220923117.7 | 申请日： | 2022-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN217689769U | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 彭新蕾;高中原 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01C9/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 陈钧 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光罩吹扫 机载 上光 倾斜度 侦测 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种光罩吹扫机载物台上光罩倾斜度侦测的设备，其特征在于，载物台上设有两组平行设置的光罩倾斜度感应器，所述光罩倾斜度感应器包括一发射器和一接收器，所述发射器发出平行于所述载物台的光束被所述接收器接收。
2.根据权利要求1所述的一种光罩吹扫机载物台上光罩倾斜度侦测的设备，其特征在于：所述发射器和所述接收器在所述载物台的两侧相向设置。
3.根据权利要求2所述的一种光罩吹扫机载物台上光罩倾斜度侦测的设备，其特征在于：所述发射器包括至少一个LED灯。
4.根据权利要求2所述的一种光罩吹扫机载物台上光罩倾斜度侦测的设备，其特征在于：所述发射器发射的光为至少一束均匀光束。
5.根据权利要求4所述的一种光罩吹扫机载物台上光罩倾斜度侦测的设备，其特征在于：光罩水平放置在所述载物台上时，所述光束平行于所述光罩表面且垂直间距在3mm。
6.根据权利要求4所述的一种光罩吹扫机载物台上光罩倾斜度侦测的设备，其特征在于：所述接收器包括判断装置，所述判断装置用于判断是否接收到所述光束，任一个所述接收器没有接收到所述光束，所述光罩倾斜度感应器报警。
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