[实用新型]一种行程可调的修正板升降机构有效
| 申请号： | 202220888074.3 | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN217104050U | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 周柯;肖映都 | 申请（专利权）人： | 东莞高田光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/52;C23C14/56 |
| 代理公司： | 东莞技创百科知识产权代理事务所(普通合伙) 44608 | 代理人： | 朱晓光 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市清溪*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种行程可调的修正板升降机构，涉及电子束蒸镀技术领域，包括安装座，安装座上安装有直线驱动组件，直线驱动组件的直线移动件上铰接有连杆，连杆上铰接有活动支架，活动支架上固定有修正板支架，安装座上安装有上支架，活动支架还对应与上支架铰接，连杆在直线移动件上的转动方向、活动支架在连杆上的转动方向以及活动支架在上支架上的转动方向相同或相反，直线移动件进行直线移动时，通过连杆带动活动支架，使活动支架在上支架上转动，从而达到升降修正板的目的，采用本修正板升降机构，只需要在真空室门打开时，控制直线驱动组件使直线移动件移动，即可将修正板降下，方便员工装载产品，有效提升工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 行程 可调 修正 升降 机构 | ||
【主权项】：
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