[实用新型]一种行程可调的修正板升降机构

说明书

本实用新型公开了一种行程可调的修正板升降机构，涉及电子束蒸镀技术领域，包括安装座，安装座上安装有直线驱动组件，直线驱动组件的直线移动件上铰接有连杆，连杆上铰接有活动支架，活动支架上固定有修正板支架，安装座上安装有上支架，活动支架还对应与上支架铰接，连杆在直线移动件上的转动方向、活动支架在连杆上的转动方向以及活动支架在上支架上的转动方向相同或相反，直线移动件进行直线移动时，通过连杆带动活动支架，使活动支架在上支架上转动，从而达到升降修正板的目的，采用本修正板升降机构，只需要在真空室门打开时，控制直线驱动组件使直线移动件移动，即可将修正板降下，方便员工装载产品，有效提升工作效率。

技术领域

本实用新型涉及电子束蒸镀技术领域，具体为一种行程可调的修正板升降机构。

背景技术

电子束蒸镀是物理气相沉积的一种，与传统蒸镀方式不同，电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材，使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀可以镀出高纯度高精度的薄膜，然而电子束蒸发时不同角度区间的蒸发厚度是不同的，需要引入修正板对均匀区进行修正，才能保证整批产品工艺要求的一致性。

目前市面上常规使用的是固定修正的修正板机构，该类不可活动的修正机构导致在装载产品时会影响作业员操作，降低工作效率。

实用新型内容

本实用新型为克服上述情况不足，旨在提供一种能解决上述问题的技术方案。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种行程可调的修正板升降机构，包括安装座，安装座上安装有直线驱动组件，直线驱动组件的直线移动件上铰接有连杆，连杆上铰接有活动支架，活动支架上固定有修正板支架；安装座上安装有上支架，活动支架还对应与上支架铰接；连杆在直线移动件上的转动方向、活动支架在连杆上的转动方向以及活动支架在上支架上的转动方向相同或相反。

作为本实用新型进一步方案：活动支架或修正板支架上连接有限位块，安装座或上支架上设置有与限位块对应的调节块，调节块为位置可调设置；通过调节调节块的位置，在活动支架转动时，限位块与调节块相抵用于限制活动支架的转动角度。

作为本实用新型进一步方案：调节块为螺接在安装座或上支架上的螺丝。

作为本实用新型进一步方案：安装座上安装有下支架，直线移动件上可转动连接有滚动件；直线移动件在进行直线移动时，滚动件对应在下支架上朝向上支架的一侧滚动，

作为本实用新型进一步方案：滚动件可转动连接在直线移动件与连杆的铰接处。

作为本实用新型进一步方案：直线驱动组件采用气缸为驱动件。

作为本实用新型进一步方案：安装座为真空法兰；气缸安装在安装座的一侧，上支架安装在安装座的另一侧，气缸的伸缩杆穿过安装座的另一侧后与直线移动件连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：直线移动件进行直线移动时，通过连杆带动活动支架，使活动支架在上支架上转动，从而达到升降修正板的目的；采用本修正板升降机构，只需要在真空室门打开时，控制直线驱动组件使直线移动件移动，即可将修正板降下，方便员工装载产品，有效提升工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图中的附图标记及名称如下：

气缸-1，安装座-2，上支架-3，下支架-4，限位块-5，滚动件-6，轴承-7，修正板-8，修正板支架-9，连杆-10，活动支架-11，调节块-12，直线移动件-13，直线驱动组件-100。

具体实施方式