[实用新型]一种晶圆设备的可调节定位装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆设备的可调节定位装置，包括设备主体、晶圆结构以及定位调节组件，定位调节组件包括通过支架支撑且转动设于支架上的转动套管、与转动套管左右两端螺旋套接的两根调节轴杆以及分别设于两根调节轴杆的末端且通过轴承座连接的垂向夹杆，实现通过调节螺栓对底板支撑晶圆结构底端的位置调节，驱动电机运行通过驱动轴上的转动齿盘对转动套管上的外齿轮产生传动作用力，转动套管的转动对左右两端螺接的垂向夹杆产生相对移动的作用力，从而通过垂向夹杆的相对移动，垂向夹杆末端内侧的橡胶夹板对晶圆结构的左右两侧夹持定位，具有可根据晶圆结构尺寸对晶圆结构可调节式定位于设备主体内部，提高对晶圆结构安装灵活性。