[实用新型]一种晶圆设备的可调节定位装置

权利要求书

1.一种晶圆设备的可调节定位装置，包括设备主体（1）、晶圆结构（2）以及定位调节组件，其特征在于：所述设备主体（1）内左右两侧壁的纵向滑槽（3）内设有底板（4），所述晶圆结构（2）底端设于底板（4）上顶面的卡槽（5）内，所述设备主体（1）上螺接有两根调节螺栓（6），两根所述调节螺栓（6）的底端分别设于底板（4）上表面的左右两侧；定位调节组件包括通过支架支撑且转动设于支架上的转动套管（7）、与转动套管（7）左右两端螺旋套接的两根调节轴杆（8）以及分别设于两根调节轴杆（8）的末端且通过轴承座（9）连接的垂向夹杆（10），所述垂向夹杆（10）末端的夹块（11）内侧设有与晶圆结构（2）左右两侧夹持定位的橡胶夹板（12）；所述设备主体（1）顶端的电机座（13）内设有驱动电机（14），所述驱动电机（14）上驱动轴末端的转动齿盘（15）与转动套管（7）中部的外齿轮（16）啮合。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆设备的可调节定位装置，其特征在于：所述卡槽（5）内侧设有与晶圆结构（2）表面接触的海绵防滑垫（17）。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆设备的可调节定位装置，其特征在于：所述调节螺栓（6）的顶端设于电机座（13）的左右两侧且调节螺栓（6）的顶端设有限位块。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆设备的可调节定位装置，其特征在于：所述夹块（11）与垂向夹杆（10）的底端套接并通过螺栓固定。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆设备的可调节定位装置，其特征在于：所述橡胶夹板（12）的内侧设有与晶圆结构（2）外缘卡接的限位夹槽（18），所述限位夹槽（18）内壁上设有呈阶梯状的卡位（19）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆设备的可调节定位装置，其特征在于：所述电机座（13）内左侧转动设有末端与转动齿盘（15）同轴心连接的支撑轴（20）。