[实用新型]一种用于硅片运输设备的分夹式柔性固定装置有效
申请号: | 202220838231.X | 申请日: | 2022-04-12 |
公开(公告)号: | CN217804816U | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
发明(设计)人: | 韦胜;盛育;曹海洋;吴昊 | 申请(专利权)人: | 百克晶半导体科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | B62B3/04 | 分类号: | B62B3/04;B62B3/02;B62B5/00 |
代理公司: | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人: | 谢冰 |
地址: | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及硅片生产领域,具体为一种用于硅片运输设备的分夹式柔性固定装置,包括固定底板,所述固定底板底端的四个拐角处均活动连接有万向轮,所述固定底板顶端的中间位置处固定连接有壳体,所述壳体的一端活动连接有防尘网,所述壳体内部的两侧活动连接有多个固定板,所述固定板的一侧固定连接有放置架。该用于硅片运输设备的分夹式柔性固定装置,通过设置有活动板和连接弹簧能够将硅片进行按压夹持,将硅片进行分隔放置,能够避免硅片在固定时出现破碎的情况,通过设置有橡胶层能够增加对硅片的防护,增加硅片运输时的稳定性,通过放置架的形状能够适应不同形状的硅片,通过设置有连接弹簧能够适应不同厚度的硅片。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 硅片 运输设备 分夹式 柔性 固定 装置 | ||
【主权项】:
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