[实用新型]一种用于硅片运输设备的分夹式柔性固定装置

权利要求书

1.一种用于硅片运输设备的分夹式柔性固定装置，包括固定底板(7)，其特征在于：所述固定底板(7)底端的四个拐角处均活动连接有万向轮(8)，所述固定底板(7)顶端的中间位置处固定连接有壳体(9)，所述壳体(9)的一端活动连接有防尘网(2)；

所述壳体(9)内部的两侧活动连接有多个固定板(3)，所述固定板(3)的一侧固定连接有放置架(1)，所述放置架(1)的内部滑动连接有活动板(6)。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片运输设备的分夹式柔性固定装置，其特征在于：所述活动板(6)的顶端固定连接有多个连接弹簧(4)，且连接弹簧(4)与放置架(1)之间呈焊接一体化结构。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片运输设备的分夹式柔性固定装置，其特征在于：所述活动板(6)的底端固定连接有橡胶层(5)，且橡胶层(5)关于放置架(1)水平方向的中轴线对称分布。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片运输设备的分夹式柔性固定装置，其特征在于：所述放置架(1)的横截面呈C字形，且放置架(1)关于壳体(9)竖直方向的中轴线对称分布。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片运输设备的分夹式柔性固定装置，其特征在于：所述固定板(3)一侧的上端和下端均螺纹连接有螺栓(10)，且壳体(9)的内侧开设有多个与螺栓(10)相匹配的通槽(11)。

6.根据权利要求1所述的一种用于硅片运输设备的分夹式柔性固定装置，其特征在于：所述固定板(3)一侧的上端和下端均开设有通孔(16)，且通孔(16)的直径与通槽(11)的直径相等。

7.根据权利要求1所述的一种用于硅片运输设备的分夹式柔性固定装置，其特征在于：所述固定板(3)的一侧固定连接有复位弹簧(12)，且复位弹簧(12)的一侧固定连接有限位块(13)，且限位块(13)的内侧开设有与螺栓(10)相匹配的限位槽(15)，且限位块(13)的另一侧开设有固定孔(14) 。