[实用新型]一种溅射镀膜螺线管结构有效
| 申请号： | 202220729947.6 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN217239187U | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 高磊;庄焰;王露平;汤桐生 | 申请（专利权）人： | 上海克林技术开发有限公司 |
| 主分类号： | H01F7/06 | 分类号： | H01F7/06;H01F27/16;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 沈栋栋 |
| 地址： | 201424 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种溅射镀膜螺线管结构，包括：若干螺线管依次轴向连接，其中一个螺线管设置在底座上，每个螺线管包括管本体，管本体的轴向两端各设置有一个连接法兰，相邻两个螺线管之间通过连接法兰进行连接，管本体包括从内到外依次设置的内支撑管、绝缘管与磁轭，绝缘管内部沿轴向方向设置有第一线圈和第二线圈，第一线圈与第二线圈的两端各自伸出磁轭，第一线圈与第二线圈均为空心管结构，第一线圈与第二线圈伸出磁轭的端部与一分水器连接，分水器设置在磁轭外侧，用于实现对第一线圈和第二线圈的冷却。该螺线管结构可以实现多个螺线管的堆叠，进而实现多种长度的螺线管结构，而且镀膜口径可以设置比较大，能满足大型产品的镀膜需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 镀膜 螺线管 结构 | ||
【主权项】：
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