[实用新型]一种溅射镀膜螺线管结构

权利要求书

1.一种溅射镀膜螺线管结构，其特征在于，包括：底座及若干个螺线管；

若干所述螺线管依次轴向连接，其中一个所述螺线管设置在所述底座上，每个所述螺线管包括管本体，所述管本体的轴向两端各设置有一个连接法兰，相邻两个所述螺线管之间通过所述连接法兰进行连接，所述管本体包括从内到外依次设置的内支撑管、绝缘管与磁轭，所述绝缘管内部沿轴向方向设置有第一线圈和第二线圈，所述第一线圈与所述第二线圈的两端各自伸出所述磁轭，所述第一线圈与所述第二线圈均为空心管结构，所述第一线圈与所述第二线圈伸出所述磁轭的端部与一分水器连接，所述分水器设置在所述磁轭外侧，用于实现对所述第一线圈和所述第二线圈的冷却。

2.根据权利要求1所述的溅射镀膜螺线管结构，其特征在于，所述第一线圈的第一端通过一连接件与所述第二线圈的第一端连接，所述第一线圈的第二端设置有第一引出件，所述第二线圈的第二端设置有第二引出件，所述第一引出件与所述第二引出件用于与外部电连接使得所述第一线圈和所述第二线圈通电。

3.根据权利要求2所述的溅射镀膜螺线管结构，其特征在于，所述分水器包括安装架，所述安装架上设置有第一分水管和第二分水管，所述第一分水管分别与所述第一线圈的第一端、所述第二线圈的第一端相连通，所述第二分水管分别与所述第一线圈的第二端、所述第二线圈的第二端相连通。

4.根据权利要求3所述的溅射镀膜螺线管结构，其特征在于，所述第一线圈缠绕设置在第一骨架上，所述第二线圈缠绕设置在第二骨架上。

5.根据权利要求4所述的溅射镀膜螺线管结构，其特征在于，所述第一线圈和所述第二线圈在所述绝缘管内沿所述轴向方向对称设置，所述绝缘管与所述第一线圈、所述第二线圈、所述内支撑管、所述磁轭注塑在一起。

6.根据权利要求1至5任一项所述的溅射镀膜螺线管结构，其特征在于，所述连接法兰上均匀分布有若干安装孔。

7.根据权利要求6所述的溅射镀膜螺线管结构，其特征在于，相邻的两所述连接法兰之间通过紧固件可拆卸连接。

8.根据权利要求1至5任一项所述的溅射镀膜螺线管结构，其特征在于，所述磁轭采用铁轭。

9.根据权利要求1至5任一项所述的溅射镀膜螺线管结构，其特征在于，所述螺线管的数量为至少两个。