[实用新型]一种用于真空化学气相沉积炉的配气装置

摘要

本实用新型公开了一种用于真空化学气相沉积炉的配气装置，包括进气管，所述进气管包括上进气管和下进气管，所述上进气管和下进气管之间通过配气盒连接，多根上进气管的上端通过载板固定，所述载板上设有与上进气管连通的预热腔。气体经过配气装置实现了温度的提升，提高了气体利用率，确保了真空化学气相沉积炉内沉积区的气体均匀性和化学气相沉积工艺的稳定性，提高了化学气相沉积产品的质量。