[实用新型]一种蒸发材料制备设备及真空炉用蒸发材料收集装置有效
| 申请号： | 202220575818.6 | 申请日： | 2022-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN216864301U | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 郎庆安;季晶晶;彭小强;刘兆平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 邵盼 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种蒸发材料制备设备及真空炉用蒸发材料收集装置，真空炉用蒸发材料收集装置包括收集罩和阻挡件，收集罩用于扣盖于真空炉的炉膛，且所述收集罩开设有通气口，所述阻挡件安装于所述收集罩，所述阻挡件用于阻挡炉膛中蒸发的物料直接从所述通气口溢出。上述真空炉用蒸发材料收集装置，利用阻挡件阻挡收集罩中的物料直接溢出，避免了物料流失，使物料充分得到收集；利用收集罩实现在真空炉的炉膛上的直接取拿，操作简单便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 材料 制备 设备 真空炉 收集 装置 | ||
【主权项】：
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