[实用新型]一种蒸发材料制备设备及真空炉用蒸发材料收集装置

权利要求书

1.一种真空炉用蒸发材料收集装置，其特征在于，包括：

收集罩(10)，用于扣盖于真空炉的炉膛，且所述收集罩(10)开设有通气口(101)；

阻挡件(20)，安装于所述收集罩(10)，所述阻挡件(20)用于阻挡炉膛中蒸发的物料直接从所述通气口(101)溢出。

2.根据权利要求1所述的真空炉用蒸发材料收集装置，其特征在于，所述阻挡件(20)包括：

阻挡体；

连接柱，连接所述阻挡体，且所述连接柱与所述收集罩(10)连接。

3.根据权利要求2所述的真空炉用蒸发材料收集装置，其特征在于，所述阻挡件(20)还包括连接件，所述连接柱通过所述连接件与所述收集罩(10)连接，且所述阻挡体通过所述连接柱和所述连接件的调整实现高度可调。

4.根据权利要求1至3任一项所述的真空炉用蒸发材料收集装置，其特征在于，所述阻挡件(20)为阻挡板(21)，所述阻挡板(21)与所述通气口(101)在高度方向上留有间距。

5.根据权利要求4所述的真空炉用蒸发材料收集装置，其特征在于，所述阻挡板(21)包括：

板体(211)；

第一连接柱(212)，连接所述板体(211)；

第一连接件(213)，用于使所述第一连接柱(212)连接于所述收集罩(10)。

6.根据权利要求1至3任一项所述的真空炉用蒸发材料收集装置，其特征在于，所述阻挡件(20)为阻挡桶(22)，所述阻挡桶(22)的上端开口且下端封闭，所述阻挡桶(22)的周向开设有通气孔(2211)。

7.根据权利要求6所述的真空炉用蒸发材料收集装置，其特征在于，所述通气孔(2211)的数量为多个，多个所述通气孔(2211)大小相同，且所述通气孔(2211)均匀布置。

8.根据权利要求1至3任一项所述的真空炉用蒸发材料收集装置，其特征在于，所述通气口(101)开设于所述收集罩(10)，所述通气口(101)的形状为圆形或方形。

9.根据权利要求1至3任一项所述的真空炉用蒸发材料收集装置，其特征在于，所述阻挡件(20)为不锈钢阻挡件或合金铜阻挡件或合金钛阻挡件。

10.一种蒸发材料制备设备，其特征在于，包括真空炉及如权利要求1至9任一项所述的真空炉用蒸发材料收集装置。