[实用新型]一种用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱

摘要

本实用新型涉及一种用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱，其包括一个一体式结构且前后开口的主箱体，该主箱体内设有内隔板形成左右布置的第一空间和第二空间，主箱体的后端部嵌入式安装在一立式安装板，立式安装板上分别安装有第一后门组件和第二后门组件；于第一空间、第二空间内分别设有烘烤架组件，并分别连接有真空泵组件。本实用新型双箱一体式多层高真空烤箱在同一立式安装板、同一主箱体上设置两个独立的空间和两个独立的真空烤箱装置，使得真个晶振元件加工过程中，两个烤箱装置可以交替运行，从而提供整个产线效率，避免机械手空闲，提高利用率，同时在同等效率的情况下，可以减少设备成本和占用空间，提升设备性价比。