[实用新型]一种用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱

说明书

本实用新型涉及一种用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱，其包括一个一体式结构且前后开口的主箱体，该主箱体内设有内隔板形成左右布置的第一空间和第二空间，主箱体的后端部嵌入式安装在一立式安装板，立式安装板上分别安装有第一后门组件和第二后门组件；于第一空间、第二空间内分别设有烘烤架组件，并分别连接有真空泵组件。本实用新型双箱一体式多层高真空烤箱在同一立式安装板、同一主箱体上设置两个独立的空间和两个独立的真空烤箱装置，使得真个晶振元件加工过程中，两个烤箱装置可以交替运行，从而提供整个产线效率，避免机械手空闲，提高利用率，同时在同等效率的情况下，可以减少设备成本和占用空间，提升设备性价比。

技术领域：

本实用新型涉及烘干设备技术领域，特指一种用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱。

背景技术：

贴片式石英谐振器等类似贴片式结构的产品在生产过程，需要使用真空烤箱进行烘干作业，以使封装更均匀全面。真空烤箱是一种采用二面加热的热辐射方式的烤箱，一般采用加热管进行发热，通过真空压力以及高温加热装置的配合下，对内部进行高温烘干脱水。传统的真空烤箱内部的加热管设置在真空烤箱箱体上，从箱体内部四周对放置在其中的产品进行加热烘干脱水，但是加热管仅设置在箱体内壁上，当箱体内部放置较多产品时，无法做到快速彻底烘干脱水，影响产品后续加工使用。也有如中国专利号CN201821727123.5所公开的《真空烤箱》，其为了提高烘干效率，采用间隔层叠的方式在每个托架之间均设置了加热管，显然这种结构方式虽然提高了烘干效率，但是结构过于复杂，组装不便而且成本很高，也不便于料盘的取放。

为此，本发明人对现有烤箱作出了改进，优化了烤箱内部烘烤架及相关结构，并申请了中国实用新型专利，具体请见专利申请号202122998292.0所揭示的《一种用于晶振烘烤的多层高真空烤箱》。而在现实生产过程中，通过机械手从完成烘烤的烤箱内取出料盘后再放入料盘，烘烤过程中机械手处于停滞状态，等待的烘烤时间较长，致使整体产线的效率较低，若是单纯增加一台烤箱交替作业，则成本较高且占用空间大。

实用新型内容：

本实用新型的目的是克服现有技术的上述不足之处，提供一种用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱。

本实用新型采用的技术方案是：一种用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱，其包括一个一体式结构且前后开口的主箱体，该主箱体内设有内隔板形成左右布置的第一空间和第二空间，所述第一空间和第二空间的前箱口分别设有第一前门、第二前门；所述主箱体的后端部嵌入式安装在一立式安装板上使第一空间、第二空间的后箱口穿出于立式安装板；于所述立式安装板上分别安装有与第一空间的后箱口和第二空间的后箱口相对应的第一后门组件和第二后门组件；于所述第一空间、第二空间内分别设有烘烤架组件，且第一空间、第二空间的外侧壁分别开设有抽气孔并分别连接有第一真空泵组件、第二真空泵组件。

第一空间和第二空间的后箱口与立式安装板背面平齐；于所述立式安装板的背面安装有三条平行布置的立式导轨，三条立式导轨间隔布置在第一空间、第二空间的后箱口的中间和两侧，第一后门组件、第二后门组件分别安装在两个相邻的立式导轨上并沿立式导轨升降；第一后门组件、第二后门组件分别包括后箱口盖板、与后箱口盖板连接的压板、可滑动安装在相邻两条立式导轨之间的承载板、与承载板连接的连接板、设置在立式安装板上并驱动连接板的升降气缸，所述压板上还连接有导向杆，承载板上设有与导向杆对应的导向轴承，承载板上还安装有与压板连接的压板气缸。

所述第一前门、第二前门分别安装在第一空间、第二空间前箱口的上边缘，且第一前门、第二前门与主箱体之间还分别连接有气弹簧。