[实用新型]石英舟用检测装置有效
申请号: | 202220505969.4 | 申请日: | 2022-03-08 |
公开(公告)号: | CN217384188U | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 王晨光;林金雨;罗伟斌 | 申请(专利权)人: | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 林明校 |
地址: | 518118 广东省深圳市坪山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了石英舟用检测装置,包括:载置部,用于载置石英舟;安装座,至少在所述石英舟被检测的状态下位于所述载置部的上方,所述安装座上设置有沿上下方向移动的第一引导部;检具,用于检测所述石英舟,所述检具搭载在所述第一引导部上,所述检具包括主体,所述主体设置有沿作为厚度方向的前后方向间隔且平行地排列的多个检测齿,所述检测齿的厚度均相同。本实用新型的石英舟用检测装置,能够提高对石英舟的检测效率。 | ||
搜索关键词: | 石英 检测 装置 | ||
【主权项】:
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