[实用新型]石英舟用检测装置

说明书

本实用新型公开了石英舟用检测装置，包括：载置部，用于载置石英舟；安装座，至少在所述石英舟被检测的状态下位于所述载置部的上方，所述安装座上设置有沿上下方向移动的第一引导部；检具，用于检测所述石英舟，所述检具搭载在所述第一引导部上，所述检具包括主体，所述主体设置有沿作为厚度方向的前后方向间隔且平行地排列的多个检测齿，所述检测齿的厚度均相同。本实用新型的石英舟用检测装置，能够提高对石英舟的检测效率。

技术领域

本实用新型涉及检测设备技术领域，尤其涉及石英舟用检测装置。

背景技术

生产用的工装、夹具等通常需要保持高度的一致性。例如，在太阳能电池的生产的过程中，会使用到用于装载硅片的石英舟。石英舟上设置有用于容纳硅片的、沿石英舟的长度方向均匀分布的多个卡槽。硅片通常通过机械手等插入到石英舟的卡槽中(也称插片)。在卡槽的尺寸出现偏差的情况下，可能会导致插片失败进而导致硅片破碎。

因此，对于石英舟的卡槽的位置精度以及一致性要求非常高。在使用石英舟之前，需要先对石英舟的这些卡槽的精度进行检测。现有技术当中，通常是通过例如三坐标测量仪对石英舟的精度进行检测，效率非常低。并且，由于石英舟的使用量非常大，而三坐标测量仪的检测效率低，因此通常只能进行抽检。这可能会导致精度不符合要求的石英舟在生产现场被使用。

实用新型内容

本实用新型旨在至少一定程度上解决现有技术问题之一。为此，本实用新型提出了一种石英舟用检测装置，能够提高对石英舟的检测效率。

根据本实用新型一方面的石英舟用检测装置，包括：载置部，用于载置石英舟；安装座，至少在所述石英舟被检测的状态下位于所述载置部的上方，所述安装座上设置有沿上下方向移动的第一引导部；检具，用于检测所述石英舟，所述检具搭载在所述第一引导部上，所述检具包括主体，所述主体设置有沿作为厚度方向的前后方向间隔且平行地排列的多个检测齿，所述检测齿的厚度均相同。

根据本实用新型一方面的石英舟用检测装置，具有如下有益效果：能够提高对石英舟的检测效率。

在一些实施例中，还包括第二引导部，所述第二引导部可沿前后方向移动；所述安装座搭载在所述第二引导部上，并通过所述第二引导部移动到所述载置部的上方，或者从所述载置部的上方移开。

在一些实施例中，还包括锁紧部，所述锁紧部和所述安装座连接；在所述安装座位于所述载置部的上方的状态下，所述安装座沿前后方向被所述锁紧部锁紧。

在一些实施例中，还包括第一调节部，所述第一调节部沿前后方向对所述检具进行调节。

在一些实施例中，所述第一调节部搭载在所述第二引导部上并与所述安装座连接，通过沿前后方向对所述安装座进行调节以使得所述检具沿前后方向被调节。

在一些实施例中，所述第一调节部包括沿前后方向对所述安装座进行调节的第一调节螺杆。

在一些实施例中，还包括第二调节部，所述第二调节部沿左右方向对所述检具进行调节。

在一些实施例中，所述第二调节部搭载在所述安装座上，所述第二调节部包括沿左右方向对所述检具进行调节的第二调节螺杆。

在一些实施例中，所述载置部包括：支撑座，用于支撑石英舟；第一定位件，设置在所述支撑座的左右方向的一侧；第一固定部，设置在所述支撑座的左右方向的另一侧，具有第一推动件，所述第一推动件可沿左右方向被驱动，在所述石英舟被支撑在所述支撑座的状态下，所述第一推动件推动所述石英舟在左右方向抵接所述第一定位件；第二定位件，设置在所述支撑座的前后方向的一侧；第二固定部，设置在所述支撑座的前后方向的另一侧，具有第二推动件，所述第二推动件可沿前后方向被驱动，在所述石英舟被支撑在所述支撑座的状态下，所述第二推动件推动所述石英舟在前后方向抵接所述第二定位件。