[实用新型]防撞装置

摘要

本实用新型提供了一种防撞装置。防撞装置包括安装座和固定在安装座上的防撞结构，防撞结构包括由形状记忆合金制成的空心柱状结构，空心柱状结构垂直于安装座和防撞结构的接触面。与现有技术相比，本实用新型的防撞装置利用形状记忆合金相变伪弹性特性实现撞击过程中缓冲与吸能的效果，达到防撞功能；同时卸载后恢复原状后，不会带动被撞击物反向较大的受力与运动。将该防撞装置其应用于EUV工件台，可在保证洁净度与较低的释气率，从而避免对EUV真空环境的影响的同时，可有效解决EUV中承片台、线缆台等运动部件存在飞车的风险，同时减小因较大加速度带来较大撞击导致的承片台、线缆台损坏的现象。