[实用新型]防撞装置

说明书

本实用新型提供了一种防撞装置。防撞装置包括安装座和固定在安装座上的防撞结构，防撞结构包括由形状记忆合金制成的空心柱状结构，空心柱状结构垂直于安装座和防撞结构的接触面。与现有技术相比，本实用新型的防撞装置利用形状记忆合金相变伪弹性特性实现撞击过程中缓冲与吸能的效果，达到防撞功能；同时卸载后恢复原状后，不会带动被撞击物反向较大的受力与运动。将该防撞装置其应用于EUV工件台，可在保证洁净度与较低的释气率，从而避免对EUV真空环境的影响的同时，可有效解决EUV中承片台、线缆台等运动部件存在飞车的风险，同时减小因较大加速度带来较大撞击导致的承片台、线缆台损坏的现象。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种防撞装置。

背景技术

随着半导体行业的发展，光刻机工件台的工作环境要求越来越严格。干式双工件台与浸没双工件台工作环境一般为大气环境，其防撞装置设计或使用中多为聚氨酯等橡胶材质以及类似液油压缓冲器等。为了满足芯片性能的需求，对线宽尤其是7nm以下，提出了新要求。目前最为典型的光刻设备为极紫外线光刻机(EUV)，工作环境为真空状态，真空环境对洁净度以及释气量要求更高，对防撞装置的设计与使用更为苛刻。

类似橡胶材质的防撞装置，虽然具有防撞—缓冲吸能的作用，但是可加工性能较差，容易出现老化破损，释放污染物的现象，最严重的缺陷是真空环境中释气率较高，同等条件下，释气量较大，从而影响真空环境状态。使用类似液压缓冲器的防撞装置，存在泄漏液压油等现象，尤其是在真空环境中使用，缓冲器的密封防泄漏失效概率极高，几乎在真空环境中杜绝使用。此外以上防撞装置自身的局限性，限制了设计者的发散思维，结构模型设计种类较少。若直接采用类似不锈钢304材质的防撞装置，虽然可加工制造性较好，结构设计种类较多，但防撞缓冲效果较差，而且多为一次性使用，撞击后无法恢复原位，资源较为浪费，更换频繁，维护成本增加。另外有些防撞装置中采用了弹簧(弹簧钢)，但会承载压缩后出现反向推力，导致撞击体反向移动，吸能效果较差，更不利用工件台这种高精度装备的使用。因此亟需设计一种适合在新一代EUV中使用的防撞装置。

实用新型内容

针对上述现有技术中的防撞装置不适于在极紫外线光刻机使用的不足，本实用新型的目的在于提供一种防撞装置，在满足真空环境的释气、洁净度要求前提下，实现工件台中承片台与线缆台等大加速度运动部件的防撞作用，达到缓冲吸能的效果。

本实用新型提供的一种防撞装置，包括安装座和防撞结构，所述防撞结构的一端固定在所述安装座上，所述防撞结构包括由形状记忆合金制成的空心柱状结构，所述空心柱状结构垂直于所述安装座和所述防撞结构的接触面。

优选地，所述空心柱状结构由弧面围合而成，所述空心柱状结构的纵截面为外凸的弧形。

优选地，所述空心柱状结构由螺旋线围合而成。

优选地，所述螺旋线远离所述安装座的一端固定连接有承压板。

优选地，所述空心柱状结构是由多孔板围合而成。

优选地，所述空心柱状结构的为多孔板围合而成的空心圆柱或空心直棱柱。

优选地，所述空心柱状结构的一端固定连接有安装板，所述安装板和所述安装座上分别开设有对应的安装孔，所述安装板与所述安装座通过穿过安装孔的螺钉形成可拆卸连接。

优选地，所述形状记忆合金包括镍钛合金。

与现有技术相比，本实用新型的防撞装置以形状记忆合金为原材料设计防撞结构，利用形状记忆合金相变伪弹性特性实现撞击过程中缓冲与吸能的效果，达到防撞功能。同时卸载后恢复原状后，不会带动被撞击物反向较大的受力与运动。

本实用新型提供的防撞装置不仅可在大气环境下使用，因形状记忆合金释气率较小，可满足真空环境的释气、洁净度要求，因此该防撞装置还可以在真空环境中使用。