[实用新型]一种基于CGH的凸面光栅检测系统有效
| 申请号： | 202220447617.8 | 申请日： | 2022-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN217032971U | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 王慧全;陈新华;朱嘉诚;沈为民 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 唐学青 |
| 地址： | 215104 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开一种基于CGH的凸面光栅检测系统。该系统的干涉仪中发出的测试光入射至所述第一CGH补偿器上；经第一CGH补偿器相位调制后，将其第一级次衍射光反射至待测凸面光栅；经待测凸面光栅衍射后，待测凸面光栅的工作级次衍射光反射至所述第二CGH补偿器；经第二CGH补偿器相位调制后，其第一级次衍射光的会聚点与标准球面反射镜的曲率中心重合；经标准球面反射镜后，测试光原路返回至所述干涉仪中。测试光与参考光发生干涉，干涉仪能够根据干涉条纹测量该光路的波像差；本申请具有结构简单、易于装调、光能利用率高、测量对象范围广的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 cgh 凸面 光栅 检测 系统 | ||
【主权项】：
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