[实用新型]一种基于CGH的凸面光栅检测系统

权利要求书

1.一种基于CGH的凸面光栅检测系统，其特征在于，包括：干涉仪、第一CGH补偿器、第二CGH补偿器及标准球面反射镜，

所述干涉仪中发出的测试光入射至所述第一CGH补偿器上；

经第一CGH补偿器相位调制后，其第一级次衍射光反射至待测凸面光栅；

经待测凸面光栅衍射后，待测凸面光栅的工作级次衍射光反射至所述第二CGH补偿器；

经第二CGH补偿器相位调制后，其第一级次衍射光的会聚点与标准球面反射镜的曲率中心重合；

经标准球面反射镜后，测试光原路返回至所述干涉仪中。

2.根据权利要求1所述的基于CGH的凸面光栅检测系统，其特征在于：还包括：

第一空间滤波器，所述第一空间滤波器设置于所述标准球面反射镜的曲率中心位置。

3.根据权利要求1或2所述的基于CGH的凸面光栅检测系统，其特征在于：还包括：

第二空间滤波器，所述第二空间滤波器设置于所述干涉仪的焦点位置。

4.根据权利要求1所述的基于CGH的凸面光栅检测系统，其特征在于：所述第一CGH补偿器、第二CGH补偿器设置在同一块基板上。

5.根据权利要求1所述的基于CGH的凸面光栅检测系统，其特征在于：所述第一CGH补偿器、第二CGH补偿器均为二元光学面。

6.根据权利要求5所述的基于CGH的凸面光栅检测系统，其特征在于：

所述二元光学面的相位表达式为：

Φ＝M(a₁x¹y⁰+a₂x⁰y¹+a₃x²y⁰+a₄x¹y¹+a₅x⁰y²+a₆x³y⁰+a₇x²y¹+a₈x¹y²+a₉x⁰y³+···)，

其中：M是衍射级次；a₁至a₉是单项式的系数。

7.根据权利要求1所述的基于CGH的凸面光栅检测系统，其特征在于：

所述第一CGH补偿器、第二CGH补偿器的口径均不超过100mm。