[实用新型]气路吹扫装置和气路吹扫系统有效

专利信息
申请号: 202220362046.8 申请日: 2022-02-22
公开(公告)号: CN216857646U 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 刘志强;喻阳;霍达 申请(专利权)人: 北京燕东微电子科技有限公司
主分类号: B08B9/032 分类号: B08B9/032;B08B13/00
代理公司: 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 代理人: 王乾旭;赵红凯
地址: 100176 北京市大兴区北京经*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本申请提供一种气路吹扫装置和气路吹扫系统。其中气路吹扫装置用于对目标设备进行气路吹扫,包括:箱体,其内部限定有用于容纳气瓶的容纳腔,气瓶用于充注吹扫气体;输气管路,设置于容纳腔内,其第一端口用于与气瓶的输气口连通,第二端口穿出箱体用于与目标设备的源气口连通,输气管路能够单向导通,以使气瓶内的吹扫气体从第一端口流向第二端口。将输气管路和气瓶设置于箱体内,可以根据需要吹扫的目标设备移动箱体进行使用,无需单独设置固定的吹扫气体瓶,进而节省了空间,降低了使用成本。
搜索关键词: 气路吹扫 装置 和气 路吹扫 系统
【主权项】:
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