[实用新型]气路吹扫装置和气路吹扫系统有效
申请号: | 202220362046.8 | 申请日: | 2022-02-22 |
公开(公告)号: | CN216857646U | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 刘志强;喻阳;霍达 | 申请(专利权)人: | 北京燕东微电子科技有限公司 |
主分类号: | B08B9/032 | 分类号: | B08B9/032;B08B13/00 |
代理公司: | 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 | 代理人: | 王乾旭;赵红凯 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请提供一种气路吹扫装置和气路吹扫系统。其中气路吹扫装置用于对目标设备进行气路吹扫,包括:箱体,其内部限定有用于容纳气瓶的容纳腔,气瓶用于充注吹扫气体;输气管路,设置于容纳腔内,其第一端口用于与气瓶的输气口连通,第二端口穿出箱体用于与目标设备的源气口连通,输气管路能够单向导通,以使气瓶内的吹扫气体从第一端口流向第二端口。将输气管路和气瓶设置于箱体内,可以根据需要吹扫的目标设备移动箱体进行使用,无需单独设置固定的吹扫气体瓶,进而节省了空间,降低了使用成本。 | ||
搜索关键词: | 气路吹扫 装置 和气 路吹扫 系统 | ||
【主权项】:
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