[实用新型]气路吹扫装置和气路吹扫系统

说明书

本申请提供一种气路吹扫装置和气路吹扫系统。其中气路吹扫装置用于对目标设备进行气路吹扫，包括：箱体，其内部限定有用于容纳气瓶的容纳腔，气瓶用于充注吹扫气体；输气管路，设置于容纳腔内，其第一端口用于与气瓶的输气口连通，第二端口穿出箱体用于与目标设备的源气口连通，输气管路能够单向导通，以使气瓶内的吹扫气体从第一端口流向第二端口。将输气管路和气瓶设置于箱体内，可以根据需要吹扫的目标设备移动箱体进行使用，无需单独设置固定的吹扫气体瓶，进而节省了空间，降低了使用成本。

技术领域

本申请涉及半导体制备技术领域，例如涉及一种气路吹扫装置和气路吹扫系统。

背景技术

目前，在半导体产品加工过程中，一般使用特种气体(业内简称“特气”)作为源气参与到加工过程中。特气是特殊的高纯度气体，半导体加工过程中常用的特气主要有砷烷、磷烷、三氟化硼等。在进行特气钢瓶交换和气路系统的维修工作时，为保障人员安全和气路管道的洁净度，还需要使用吹扫气体对已排空的气路管道进行吹扫，以清除管道内残留的特气。一般是向已排空的气路管道内充入一定压力的高纯吹扫气体，再通过真空泵将气路管道抽真空，反复执行上述充入吹扫气体并抽真空的操作，经过数次的气体吹扫后，管道内残留的特气得以彻底清除。上述吹扫气体通常为高纯氮气，或为高纯惰性气体，例如高纯氩气。

现阶段使用的吹扫气体通常是由工厂厂务系统集中供气，在厂房建设初期根据加工设备群统一规划配置，将主管道引入厂房并设置预留支路点位，通过二次施工将支路点位与加工设备的内置吹扫管道连接，保证每台需要清洁的加工设备都配置独立的吹扫管道和操作盘面。当需要进行特气钢瓶交换和气路系统的维修工作时，通过操作系统内置的吹扫程序，控制气动阀动作，从而将吹扫气体输入到气路管道中，起到吹扫效果。

但是，上述采用的集中供气方式，并不适用于一些吹扫气体用量少、使用频次低的加工设备；而且若厂房建设初期没有考虑到后期增加其它加工设备，因此若基于新增加工设备加装集中供气的管路，改装成本以及后期维护成本都很高。

为解决上述问题，相关方案是在每个加工设备的附近都配置吹扫气体瓶，方便每个加工设备都可以进行管道吹扫。但是，由于厂房的工作空间有限，多个吹扫气体瓶会占用厂房的工作空间，同时，设置的多个吹扫气体瓶，也增加了使用成本和维护成本。

实用新型内容

为了解决上述技术缺陷，本申请实施例中提供了一种气路吹扫装置和气路吹扫系统。

为实现上述目的，本申请实施例第一方面提供一种气路吹扫装置，用于对目标设备进行气路吹扫，该气路吹扫装置包括：

箱体，其内部限定有用于容纳气瓶的容纳腔，气瓶用于充注吹扫气体；

输气管路，设置于容纳腔内，其第一端口用于与气瓶的输气口连通，第二端口穿出箱体用于与目标设备的源气口连通，输气管路能够单向导通，以使气瓶内的吹扫气体从第一端口流向第二端口。

如上所述的气路吹扫装置，箱体还包括：

卡座，固定设置于箱体的内壁；

卡箍，其第一端与卡座的第一侧铰接，第二端与卡座的第二侧可拆卸连接；

当卡箍的第二端与卡座的第二侧连接时，卡箍与卡座形成有与气瓶瓶身适配的夹持空间，气瓶固定设置于夹持空间内。

如上所述的气路吹扫装置，卡座的侧面上设置有卡槽，气瓶的部分瓶身能置入卡槽内。

如上所述的气路吹扫装置，箱体还包括：

安装板，固定设置于箱体的内壁，输气管路固定设置在安装板上。

如上的气路吹扫装置，输气管路包括第一接头、输气管、调压阀、第一球阀、单向阀和第二接头；