[实用新型]一种金刚石热沉片制备用硅片超声清洗装置有效
| 申请号： | 202220340251.4 | 申请日： | 2022-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN216800912U | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 李建林;李明柱;王丽芳;张德旗;高玉杰;郭伟伟 | 申请（专利权）人： | 河南飞孟金刚石股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 焦作市科彤知识产权代理事务所(普通合伙) 41133 | 代理人： | 杨晓彤 |
| 地址： | 454750 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种金刚石热沉片制备用硅片超声清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱内滑动连接有两块限位板，所述清洗箱内设有用于对两块限位板进行调节的调节机构，所述清洗箱内侧壁前后两侧均固定安装有超声波发射器，两块所述限位板相对的侧壁均滑动连接有两个软垫，所述限位板上设有用于对两个软垫进行升降的升降机构。本实用新型对硅片的清洗效果好，清洗效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 热沉片 制备 硅片 超声 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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