[实用新型]用于光伏电池片的表面钝化设备有效
| 申请号: | 202220242380.X | 申请日: | 2022-01-29 |
| 公开(公告)号: | CN217086602U | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
| 发明(设计)人: | 李朝;侯净雷;赵爱爽 | 申请(专利权)人: | 晶澳太阳能有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C30B33/12 |
| 代理公司: | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人: | 史雅琪 |
| 地址: | 055550 *** | 国省代码: | 河北;13 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本申请涉及一种用于光伏电池片的表面钝化设备,其包括反应炉,反应炉水平放置并且内部形成反应空间,反应空间的底部水平对称放置有两个石墨舟,石墨舟上放置有多个光伏电池片;多个进气管道,多个进气管道分别设置在反应炉的底部的两端并与反应空间相连通,用于向反应空间通入气体;以及排气管道,排气管道设置在反应炉的顶部的中部并与反应空间相连通,用于将气体排出。本申请可以使得从反应炉的两端进入反应空间后的气体在反应炉的中部产生碰撞,以形成对流和涡流,从而使得气体可以快速地均布在反应空间内,进而达到加快气体与光伏电池片的反应时间并且避免气体在反应炉内分布不均的目的,提高了光伏电池片的钝化膜的厚度均匀性。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 电池 表面 钝化 设备 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





