[实用新型]用于光伏电池片的表面钝化设备有效
| 申请号: | 202220242380.X | 申请日: | 2022-01-29 |
| 公开(公告)号: | CN217086602U | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
| 发明(设计)人: | 李朝;侯净雷;赵爱爽 | 申请(专利权)人: | 晶澳太阳能有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C30B33/12 |
| 代理公司: | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人: | 史雅琪 |
| 地址: | 055550 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 电池 表面 钝化 设备 | ||
本申请涉及一种用于光伏电池片的表面钝化设备,其包括反应炉,反应炉水平放置并且内部形成反应空间,反应空间的底部水平对称放置有两个石墨舟,石墨舟上放置有多个光伏电池片;多个进气管道,多个进气管道分别设置在反应炉的底部的两端并与反应空间相连通,用于向反应空间通入气体;以及排气管道,排气管道设置在反应炉的顶部的中部并与反应空间相连通,用于将气体排出。本申请可以使得从反应炉的两端进入反应空间后的气体在反应炉的中部产生碰撞,以形成对流和涡流,从而使得气体可以快速地均布在反应空间内,进而达到加快气体与光伏电池片的反应时间并且避免气体在反应炉内分布不均的目的,提高了光伏电池片的钝化膜的厚度均匀性。
技术领域
本申请涉及一种用于光伏电池片的表面钝化设备。
背景技术
制备光伏电池片的过程中,通常需要在光伏电池片的正面或者背面进行钝化以形成钝化膜,进而达到提高光伏电池片的整体性能的目的。
光伏电池片进行表面钝化时,通常先将待加工的光伏电池片放置在石墨舟上,然后由装载有光伏电池片的石墨舟放置在表面钝化设备的反应炉中,再向该反应炉内通入光伏电池片进行表面钝化所需的气体,并使得气体循环流通,以使得气体在循环与流通的过程中与光伏电池片的表面发生化学反应进而形成钝化膜。但是在现有技术中,由于气体在反应炉内分布不均而出现钝化膜的厚度不均匀的现象。
实用新型内容
为了解决上述中的技术问题,本申请提供一种用于光伏电池片的表面钝化设备。
本申请提供一种用于光伏电池片的表面钝化设备,采用如下的技术方案:
一种用于光伏电池片的表面钝化设备,包括:
反应炉,所述反应炉水平放置并且内部形成反应空间,所述反应空间的底部水平对称放置有两个石墨舟,所述石墨舟上放置有多个光伏电池片;
多个进气管道,多个所述进气管道分别设置在所述反应炉的底部的两端并与所述反应空间相连通,用于向所述反应空间通入所述光伏电池片进行表面钝化所需的气体;以及
排气管道,所述排气管道设置在所述反应炉的顶部的中部并与所述反应空间相连通,用于将所述反应空间内的所述气体排出。
可选的,炉体,两端开口并且内部中空形成所述反应空间;
炉体端盖,设置在所述炉体的一端,用于将所述炉体的一端封闭;以及
炉门,设置在所述炉体的另一端,用于控制所述反应空间的打开/关闭。
可选的,所述炉体包括内管、套设在所述内管外的套管以及设置在所述内管和所述套管之间的保温层。
可选的,所述炉体端盖与所述炉体之间以及所述炉门与所述炉体之间均设置有法兰。
可选的,所述进气管道从所述法兰的底部贯穿所述法兰形成,并且包括进气入口和进气出口,所述进气入口位于所述反应炉的外部,所述进气出口位于所述反应炉的反应空间内。
可选的,所述排气管道从所述反应炉的顶部的中部沿所述反应炉的内壁水平延伸到所述反应炉的端部,并且包括排气入口和排气出口,所述排气入口位于所述反应炉的反应空间内,所述排气出口位于所述反应炉的外部。
可选的,所述排气入口的开口方向朝向所述反应炉的底部。
可选的,所述排气管道从所述反应炉的顶部的中部沿所述反应炉的内壁水平延伸到所述反应炉端部的所述炉体端盖并贯穿所述炉体端盖。
可选的,所述炉门与靠近所述炉门的所述法兰之间设置有密封圈。
可选的,所述反应空间内设置有用于放置所述石墨舟的舟架。
综上所述,本申请包括以下有益技术效果:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





