[实用新型]一种适用于基板传输的装置有效
申请号: | 202220209075.0 | 申请日: | 2022-01-25 |
公开(公告)号: | CN217263073U | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 宋勇超;周伟;俞勤;李志强;胡洋;黄金鹏;陈楚杰 | 申请(专利权)人: | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
主分类号: | B65G47/82 | 分类号: | B65G47/82;B65G47/22;B65G15/30 |
代理公司: | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 | 代理人: | 张曾明 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区桃源街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种适用于基板传输的装置,包括限位组件、推料组件以及用于输送基板的传送带组件,传送带组上设置有第一输送位置以及第二输送位置,限位组件靠近第一输送位置设置,推料组件靠近第二输送位置设置,传送带组件具有送料状态以及出料状态;当传送带组件处于送料状态时,传送带组件上的基板可沿第一方向由靠近第二输送位置的一侧输送至第一输送位置,限位组件可对处于第一输送位置的基进行限位;当传送带组件处于出料状态时,传送带组件上的基板可沿与第一方向相反的第二方向由靠近第一输送位置的一侧输送至第二输送位置,推料组件可将处于第二输送位置的基板推出。该适用于基板传输的装置可满足不同的基板传送需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 适用于 传输 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华腾半导体设备有限公司,未经深圳市华腾半导体设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202220209075.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种金属圆管切割装置
- 下一篇:一种带有调节功能的水质分析仪