[实用新型]一种适用于基板传输的装置有效
申请号: | 202220209075.0 | 申请日: | 2022-01-25 |
公开(公告)号: | CN217263073U | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 宋勇超;周伟;俞勤;李志强;胡洋;黄金鹏;陈楚杰 | 申请(专利权)人: | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
主分类号: | B65G47/82 | 分类号: | B65G47/82;B65G47/22;B65G15/30 |
代理公司: | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 | 代理人: | 张曾明 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区桃源街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 传输 装置 | ||
1.一种适用于基板传输的装置,其特征在于:包括限位组件、推料组件以及用于输送基板的传送带组件,所述传送带组件上设置有第一输送位置以及第二输送位置,所述限位组件靠近所述第一输送位置设置,所述推料组件靠近所述第二输送位置设置,所述传送带组件具有送料状态以及出料状态;
当所述传送带组件处于送料状态时,所述传送带组件上的基板可沿第一方向由靠近所述第二输送位置的一侧输送至所述第一输送位置,所述限位组件可对处于所述第一输送位置的基板进行限位;
当所述传送带组件处于出料状态时,所述传送带组件上的基板可沿与所述第一方向相反的第二方向由靠近所述第一输送位置的一侧输送至所述第二输送位置,所述推料组件可将处于所述第二输送位置的基板推出。
2.根据权利要求1所述的适用于基板传输的装置,其特征在于:所述传送带组件包括传送支架、第一导轨、第二导轨以及用于输送基板的传送带模组,所述第一导轨、所述第二导轨及所述传送带模组均安装在所述传送支架上,且所述第一导轨与所述第二导轨分别沿所述第一方向设置在所述传送带模组的相对两侧。
3.根据权利要求2所述的适用于基板传输的装置,其特征在于:所述传送带模组包括传送驱动件、第一滚轮、第二滚轮以及可承载基板的传送带,所述传送带绕设在所述第一滚轮与所述第二滚轮上,所述传送驱动件用于驱动所述第一滚轮转动;
所述第一导轨与所述第二导轨关于所述传送带的中线对称。
4.根据权利要求3所述的适用于基板传输的装置,其特征在于:所述限位组件包括限位板,所述限位板安装在所述第一导轨与所述第二导轨之间且位于所述第一输送位置远离所述第二输送位置的一侧。
5.根据权利要求4所述的适用于基板传输的装置,其特征在于:所述限位组件还包括限位传感器,所述限位传感器安装在所述第一导轨上并与所述第一输送位置对应,所述限位传感器用于在所述传送带组件处于送料状态时检测所述第一输送位置上是否有基板;
若所述第一输送位置上有基板,则所述传送驱动件停止对所述第一滚轮的转动驱动。
6.根据权利要求2所述的适用于基板传输的装置,其特征在于:所述推料组件包括推料传感器以及推料模组,所述推料传感器安装在所述第二导轨上并与所述第二输送位置对应,所述推料传感器用于在所述传送带组件处于出料状态时检测所述第二输送位置上是否有基板;
若所述第二输送位置上有基板,则所述推料模组可将处于所述第二输送位置的基板推出。
7.根据权利要求6所述的适用于基板传输的装置,其特征在于:所述推料模组包括第一推料驱动模块、第二推料驱动模块以及推板,所述第一推料驱动模块安装在所述第一导轨上,所述第二推料驱动模块安装在所述第一推料驱动模块上,所述第一推料驱动模块用于驱动所述第二推料驱动模块沿所述第一方向或所述第二方向运动;
所述推板安装在所述第二推料驱动模块上,所述第二推料驱动模块用于驱动所述推板靠近或远离所述传送带模组的方向运动。
8.根据权利要求7所述的适用于基板传输的装置,其特征在于:所述第一推料驱动模块包括第一安装架以及第一气缸,所述第一气缸的缸筒通过所述第一安装架安装在所述传送支架上,所述第一气缸的活塞杆与所述第二推料驱动模块相接。
9.根据权利要求8所述的适用于基板传输的装置,其特征在于:所述第二推料驱动模块包括第二安装架以及第二气缸,所述第一气缸的活塞杆与所述第二安装架相接,所述第二气缸的缸筒安装在所述第二安装架上,所述第二气缸的活塞杆与所述推板相接;
所述第二安装架与所述第一导轨滑动连接。
10.根据权利要求9所述的适用于基板传输的装置,其特征在于:所述第二推料驱动模块还包括推料滑轨、第一限位块、第二限位块,所述推料滑轨、所述第一限位块及所述第二限位块均安装在所述第一导轨上,所述推料滑轨与所述第一方向平行,所述第一限位块及所述第二限位块分别设置在所述推料滑轨的相对两端,所述第二安装架滑动连接在所述推料滑轨上。
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