[实用新型]一种单晶炉加热装置和单晶炉有效
申请号: | 202220190193.1 | 申请日: | 2022-01-24 |
公开(公告)号: | CN217203057U | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
发明(设计)人: | 吴文华;杨树荣;杨思琪;匡志宗;郑宇哲;王德涛;甫雨芊;刘锦章;胡永娇;杨开刚 | 申请(专利权)人: | 保山隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 王胜利 |
地址: | 678000 云*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本实用新型公开一种单晶炉加热装置和单晶炉,涉及单晶炉技术领域,以解决现有技术第二发热环形状不均匀而容易断裂的问题。所述单晶炉加热装置包括用于套设在单晶炉的坩埚外部的发热环,发热环轴向方向的两侧分别为第一侧和第二侧;发热环由多个U形条沿圆周方向间隔排布连接而成,多个U形条的槽口端位于发热环的同一侧且平齐连接,相邻两个U形条之间形成间隔槽;U形条包括多个第一U形条和多个第二U形条,第一U形条和第二U形条的材质和导通截面均相同,第一U形条的高度大于第二U形条的高度。所述单晶炉包括上述技术方案所提的单晶炉加热装置。本实用新型提供的单晶炉加热装置用于对单晶炉的坩埚进行加热。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 加热 装置 | ||
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