[实用新型]一种单晶炉加热装置和单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉加热装置，包括用于套设在单晶炉的坩埚外部的发热环，其特征在于，所述发热环轴向方向的两侧分别为第一侧和第二侧；所述发热环由多个U形条沿圆周方向间隔排布连接而成，所述多个U形条的槽口端位于所述发热环的同一侧且平齐连接，相邻两个所述U形条之间形成间隔槽；所述U形条包括多个第一U形条和多个第二U形条，所述第一U形条和所述第二U形条的材质和导通截面均相同，所述第一U形条的高度大于所述第二U形条的高度，以使所述第一U形条的阻值大于所述第二U形条的阻值，使所述发热环形成纵向温度梯度差与水平温度梯度差。

2.根据权利要求1所述的单晶炉加热装置，其特征在于，所述第一U形条和所述第二U形条交替设置。

3.根据权利要求2所述的单晶炉加热装置，其特征在于，所述第一U形条和所述第二U形条沿所述发热环的圆周方向均匀设置。

4.根据权利要求1所述的单晶炉加热装置，其特征在于，所述第一U形条和所述第二U形条的平均高度为180mm～200mm，所述第一U形条的高度与所述第二U形条的高度的差值为20mm～40mm。

5.根据权利要求1所述的单晶炉加热装置，其特征在于，所述发热环设置有两个，由上至下依次为第一发热环和第二发热环，所述第一发热环和所述第二发热环的轴线相互重合；

所述第一发热环的第一U形条的封口端与所述第二发热环的第二U形条的封口端在所述发热环的轴向上对应且相互靠近设置；

所述第一发热环的第二U形条的封口端与所述第二发热环的第一U形条的封口端在所述发热环的轴向上对应且相互靠近设置；

所述第一发热环的所述间隔槽与所述第二发热环的间隔槽在轴向上对应设置。

6.根据权利要求5所述的单晶炉加热装置，其特征在于，所述发热环设置有三个，由上至下依次为第一发热环、第二发热环和第三发热环，所述第一发热环、所述第二发热环和第三发热环的轴线相互重合；

所述第三发热环的槽口端与所述第二发热环的槽口端同向设置，且所述第三发热环的间隔槽与所述第二发热环的槽口端对应且设置。

7.根据权利要求6所述的单晶炉加热装置，其特征在于，所述第一发热环和所述第二发热环之间的距离为50mm～80mm，所述第二发热环和所述第三发热环之间的距离为140mm～180mm。

8.根据权利要求1所述的单晶炉加热装置，其特征在于，所述发热环设置有至少三个，由上至下依次同轴线布置，且相邻两个发热环之间的距离依次递减或递增，以形成纵向温度梯度差。

9.根据权利要求8所述的单晶炉加热装置，其特征在于，还包括至少两个连接件，所述连接件用于连接相邻两个或多个所述发热环，以通过至少两个所述连接件将至少三个所述发热环拼接。

10.一种单晶炉，其特征在于，包括权利要求书1至9任一项所述的单晶炉加热装置。