[实用新型]一种具备气体浓度检测的高精度混气装置有效

专利信息
申请号: 202220121072.1 申请日: 2022-01-18
公开(公告)号: CN217111728U 公开(公告)日: 2022-08-02
发明(设计)人: 熊光宇;景培成;沈照儒;倪俊;陈辉 申请(专利权)人: 上海时宇半导体设备有限公司
主分类号: G01N1/34 分类号: G01N1/34;G01N1/38;G01N33/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201615 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及气体加工设备技术领域,且公开了一种具备气体浓度检测的高精度混气装置,包括混合筒,所述混合筒两侧的顶部均连通有进气管;本实用新型通过将不同气体从进气管送至混合筒内,打开混合电机带动混合杆进行转动,从而通过混合杆将不同气体进行混合,再通过检测器与显示屏对气体浓度进行检测,便于进行均匀混合从而提高混合效果,还提高了气体混合效率,本实用新型通过将混合后的气体送至过滤筒内,混合气体通过连接管进入过滤筒的滤芯内,通过滤芯对混合气体进行过滤,再通过排气管进行排放,通过对气体进行过滤,避免对气体使用效果造成影响,减轻了使用负担,值得推广使用。
搜索关键词: 一种 具备 气体 浓度 检测 高精度 装置
【主权项】:
暂无信息
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