[实用新型]一种具备气体浓度检测的高精度混气装置有效
申请号: | 202220121072.1 | 申请日: | 2022-01-18 |
公开(公告)号: | CN217111728U | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 熊光宇;景培成;沈照儒;倪俊;陈辉 | 申请(专利权)人: | 上海时宇半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01N1/34 | 分类号: | G01N1/34;G01N1/38;G01N33/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201615 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及气体加工设备技术领域,且公开了一种具备气体浓度检测的高精度混气装置,包括混合筒,所述混合筒两侧的顶部均连通有进气管;本实用新型通过将不同气体从进气管送至混合筒内,打开混合电机带动混合杆进行转动,从而通过混合杆将不同气体进行混合,再通过检测器与显示屏对气体浓度进行检测,便于进行均匀混合从而提高混合效果,还提高了气体混合效率,本实用新型通过将混合后的气体送至过滤筒内,混合气体通过连接管进入过滤筒的滤芯内,通过滤芯对混合气体进行过滤,再通过排气管进行排放,通过对气体进行过滤,避免对气体使用效果造成影响,减轻了使用负担,值得推广使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 具备 气体 浓度 检测 高精度 装置 | ||
【主权项】:
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