[实用新型]一种具备气体浓度检测的高精度混气装置有效
| 申请号： | 202220121072.1 | 申请日： | 2022-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN217111728U | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 熊光宇;景培成;沈照儒;倪俊;陈辉 | 申请（专利权）人： | 上海时宇半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/34 | 分类号： | G01N1/34;G01N1/38;G01N33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201615 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具备 气体 浓度 检测 高精度 装置 | ||
1.一种具备气体浓度检测的高精度混气装置，包括混合筒(1)，其特征在于：所述混合筒(1)两侧的顶部均连通有进气管(2)，所述进气管(2)的顶部均设置有进气阀(3)，所述混合筒(1)的顶部设置有检测机构(4)，所述混合筒(1)的底部栓接有混合电机(5)，所述混合电机(5)的输出端且位于混合筒(1)的内部栓接有混合杆(6)，所述混合筒(1)一侧的底部栓接有固定板(7)，所述固定板(7)的顶部栓接有过滤筒(8)，所述混合筒(1)的一侧且与过滤筒(8)相对应处连通有连接管(9)，所述连接管(9)的另一端与过滤筒(8)的一侧相连通，所述过滤筒(8)的内部设置有滤芯(10)。
2.根据权利要求1所述的一种具备气体浓度检测的高精度混气装置，其特征在于：所述检测机构(4)包括检测器(11)，所述检测器(11)的顶部且位于混合筒(1)的外侧设置有显示屏(12)。
3.根据权利要求1所述的一种具备气体浓度检测的高精度混气装置，其特征在于：所述混合筒(1)底部的四角均栓接有支撑柱(13)，所述支撑柱(13)之间栓接有底板(14)，且底板(14)的顶部与混合电机(5)的底部相对应。
4.根据权利要求1所述的一种具备气体浓度检测的高精度混气装置，其特征在于：所述过滤筒(8)的底部连通有排气管(15)，所述排气管(15)的正面设置有排气阀(16)。
5.根据权利要求1所述的一种具备气体浓度检测的高精度混气装置，其特征在于：所述过滤筒(8)的顶部设置有密封盖(17)，且密封盖(17)的底部与滤芯(10)相对应。
6.根据权利要求1所述的一种具备气体浓度检测的高精度混气装置，其特征在于：所述混合筒(1)的正面设置有观察窗(18)，且观察窗(18)与混合筒(1)的内部相对应。
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