[发明专利]一种TaCo二元非晶合金薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202211735030.8 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116180025A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 朱政权;孙保安;周靖;刘霄;李伟峰;刘果明 | 申请（专利权）人： | 东莞市昱懋纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;C23C14/58;C22C45/10 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王立普 |
| 地址： | 523710 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种TaCo二元非晶合金薄膜及其制备方法，属于非晶合金薄膜技术领域。本发明提供的TaCo二元非晶合金薄膜以原子百分含量计，化学组成包括：Ta90.1～91.2％；Co8.8～9.9％。本发明使用Ta、Co二元体系作为合金薄膜成分，它们之间具有较大的负混合焓和原子尺寸错配程度，能够提升非晶形成能力，使非晶薄膜更加稳定，均匀且致密；本发明通过控制Ta的原子百分含量为90.1～91.2％，Co的原子百分含量为8.8～9.9％，所得二元非晶合金薄膜具备高硬度、高强度及耐高温性能，以及良好的塑性和热稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 taco 二元 合金 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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