[发明专利]一种SPAD器件及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202211725576.5 申请日: 2022-12-30
公开(公告)号: CN116072762A 公开(公告)日: 2023-05-05
发明(设计)人: 徐涛;李爽;吕京颖;康杨森 申请(专利权)人: 深圳市灵明光子科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/107;H01L31/0216
代理公司: 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 代理人: 戴皓
地址: 518055 广东省深圳市南山区桃源街道福*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请涉及半导体制作领域,公开了一种SPAD器件及其制作方法,包括:对衬底进行N型掺杂,进行P型掺杂,得到PN结;在接收入射光的衬底表面沉积钝化层;在钝化层的表面沉积透光材料层;在透光材料层的表面形成纵截面为矩形的光刻胶层;对纵截面为矩形的光刻胶层进行回流,使纵截面为矩形的光刻胶层中的光刻胶块融化形成纵截面为凸起曲面的光刻胶层;以凸起曲面的光刻胶层作为掩膜,刻蚀透光材料层,形成微透镜,得到SPAD器件。本申请在衬底接收入射光表面上的透光材料层上通过回流形成纵截面为凸起曲面的光刻胶层,刻蚀时直接将透光材料层刻蚀成微透镜,工艺步骤简单。SPAD芯片和微透镜可以在同一个厂家做完,缩短时间、降低成本。
搜索关键词: 一种 spad 器件 及其 制作方法
【主权项】:
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