[发明专利]一种均匀生长区熔级多晶硅棒的方法在审
| 申请号： | 202211706763.9 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN115947344A | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 梁正;孟国均;李建设;吕永峰;郭蕊;蒋星光;钱光凝;盖艳喆;仪得志;陈源茂;刘纪江 | 申请（专利权）人： | 河南硅烷科技发展股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027 |
| 代理公司： | 西安研创天下知识产权代理事务所(普通合伙) 61239 | 代理人： | 郭璐 |
| 地址： | 461700 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种均匀生长区熔级多晶硅棒的方法。硅烷热解的分解炉由钟罩、硅棒、冷却夹套、石墨电极、进出口构成，本发明提供了制备多晶硅棒的最佳热通量、压力、进口流量、硅烷比率、冷却夹套的温度和硅烷原料的预热温度，以保证硅棒在炉内的均匀生长、硅烷原料得到有效利用，有效抑制硅烷均相反应，减少硅粉的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 均匀 生长 区熔级 多晶 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南硅烷科技发展股份有限公司，未经河南硅烷科技发展股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211706763.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种棘轮扳手
- 下一篇：可逆交联聚合物包覆的正极材料、制备方法、正极以及用途
