[发明专利]一种显影液在线回收利用系统及方法在审
| 申请号： | 202211692127.5 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN116047876A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 汪中平;从光军;李齐东 | 申请（专利权）人： | 昆山沪利微电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;B01D36/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 马进 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影液在线回收利用系统及方法，系统包括收集系统、新制系统及回用系统；所述回用系统包括将新制系统中制得的显影液传输至显影液供药桶，所述显影液供药桶连接有显影液缓存桶，且所述显影液供药桶通过连接管将显影液供给显影槽，所述显影液供药桶上端与显影液缓存桶连接，所述显影液供药桶下端通过回转泵与显影液缓存桶连接，本发明将显影槽底部设计为锥形槽底，降低显影槽边角油墨残留，通过过滤器、超滤膜组及陶瓷膜组依次过滤，将配置好的显影液抽至显影液供药桶内，供药桶内的显影液持续供给显影槽添加使用，通过溢流管道将显影液溢流至显影液缓存槽内，当显影液供药入桶内液位偏低时，将药水抽至显影液供药桶内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 在线 回收 利用 系统 方法 | ||
【主权项】：
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