[发明专利]一种显影液在线回收利用系统及方法

权利要求书

1.一种显影液在线回收利用系统，其特征在于：包括收集系统、新制系统及回用系统；

所述回用系统包括将新制系统中制得的显影液传输至显影液供药桶（16），所述显影液供药桶（16）连接有显影液缓存桶（18），且所述显影液供药桶（16）通过连接管将显影液供给收集系统中的显影槽（1），所述显影液供药桶（16）上端通过溢流管（17）与显影液缓存桶（18）连接，所述显影液供药桶（16）下端通过回转泵与显影液缓存桶（18）连接，以实现显影液的缓存及回用。

2.根据权利要求1所述的一种显影液在线回收利用系统，其特征在于：所述收集系统包括用于显影液反应的显影槽（1），与显影槽（1）连接对反应后的显影液抽取的泵浦（5）以及通过泵浦（5）将反应后的显影液抽取至显影液存储槽（9）。

3.根据权利要求2所述的一种显影液在线回收利用系统，其特征在于：所述显影槽（1）底部设置有锥形槽底（2），所述锥形槽底（2）通过管道将反应完的显影液传输至显影液暂存槽（4）内部，所述锥形槽底（2）与显影液暂存槽（4）间的管道连接有控制阀门（3）。

4.根据权利要求3所述的一种显影液在线回收利用系统，其特征在于：所述泵浦（5）输出端连接有过滤器（6），所述过滤器（6）输出端依次连接有超滤膜组（7）及陶瓷膜组（8），所述陶瓷膜组（8）输出端连接显影液存储槽（9），用以将反应完的显影液过滤后存储。

5.根据权利要求6所述的一种显影液在线回收利用系统，其特征在于：所述新制系统包括显影液调节桶（14），与显影液调节桶（14）连接用以制备显影液的高浓度显影液存储桶（10）及纯水存储桶（11）。

6.根据权利要求5所述的一种显影液在线回收利用系统，其特征在于：所述显影液存储槽（9）通过管道与显影液调节桶（14）连接，所述显影液调节桶（14）内部设置有对显影液配置搅拌的搅拌杆（12）。

7.根据权利要求6所述的一种显影液在线回收利用系统，其特征在于：所述显影液调节桶（14）内部设置有PH探头（13），所述PH探头（13）通过PLC控制器（15）与高浓度显影液存储桶（10）及纯水存储桶（11）电性连接。

8.一种适用于权利要求1-7任一项所述的一种显影液在线回收利用系统的方法，其特征在于：

对反应完的显影液溶液过滤回收；

制备新的显影液溶液；

显影液溶液缓存及回用。

9.根据权利要求8所述的一种显影液在线回收利用方法，其特征在于：所述对反应完的显影液溶液过滤回收，还包括：

显影槽（1）内部的显影液反应完之后通过控制阀门（3）将剩余的显影液传输至显影液暂存槽（4）中，泵浦（5）将显影液暂存槽（4）中的显影液抽取至过滤器（6）中，在依次经过过滤器（6）、超滤膜组（7）及陶瓷膜组（8）对反应完的显影液进行杂质过滤。

10.根据权利要求9所述的一种显影液在线回收利用方法，其特征在于：所述制备新的显影液溶液，还包括：

与显影液存储槽（9）连接的提升泵将其内部的显影液抽取至显影液调节桶（14）内，显影液调节桶（14）内部设置的PH探头（13）将检测结果传递给PLC控制器（15），所述PLC控制器（15）控制连接的高浓度显影液存储桶（10）及纯水存储桶（11）往显影液调节桶（14）内部添加高浓度显影液或纯水。

11.根据权利要求10所述的一种显影液在线回收利用方法，其特征在于：所述显影液溶液缓存及回用，还包括：

显影液调节桶（14）通过泵将制备好的显影液传输至显影液供药桶（16）中，显影液存储至显影液供药桶（16）上部时，显影液通过溢流管道（17）流入显影液缓存桶（18），显影液供药桶（16）用于对显影槽（1）供液，待显影液供药桶（16）中显影液不足时，通过回转泵将显影液缓存桶（18）中的显影液回转至显影液供药桶（16）。