[发明专利]一种基于卷绕剥离的自动化薄膜电池外延层剥离系统

摘要

本发明涉及一种基于卷绕剥离的自动化薄膜电池外延层剥离系统，属于太阳电池剥离技术领域；包括剥离液循环系统、剥离装置、传送系统和待剥离晶圆片；其中，剥离液循环系统水平放置；剥离装置设置在剥离液循环系统的上方；待剥离晶圆片固定在剥离装置中；传送系统设置在剥离装置的一侧；剥离液循环系统内置腐蚀液体，通过腐蚀液体实现对待剥离晶圆片的腐蚀；剥离装置实现对待剥离晶圆片的剥离，并将剥离后的部分通过传送系统传输；本发明实现了高速率、高质量批量剥离砷化镓系太阳电池的外延层(电池功能层)，实现了电池的薄膜化。