[发明专利]一种基于卷绕剥离的自动化薄膜电池外延层剥离系统

权利要求书

1.一种基于卷绕剥离的自动化薄膜电池外延层剥离系统，其特征在于：包括剥离液循环系统(2)、剥离装置(3)、传送系统(4)和待剥离晶圆片；

其中，剥离液循环系统(2)水平放置；剥离装置(3)设置在剥离液循环系统(2)的上方；待剥离晶圆片固定在剥离装置(3)中；传送系统(4)设置在剥离装置(3)的一侧；剥离液循环系统(2)内置腐蚀液体，通过腐蚀液体实现对待剥离晶圆片的腐蚀；剥离装置(3)实现对待剥离晶圆片的剥离，并将剥离后的部分通过传送系统(4)传输。

2.根据权利要求1所述的一种基于卷绕剥离的自动化薄膜电池外延层剥离系统，其特征在于：所述腐蚀液体为氢氟酸。

3.根据权利要求2所述的一种基于卷绕剥离的自动化薄膜电池外延层剥离系统，其特征在于：剥离液循环系统(2)实现将氢氟酸加热至70℃-80℃；氢氟酸从剥离液循环系统(2)流出至剥离装置(3)，辅助待剥离晶圆片的剥离；并从剥离装置(3)流回至剥离液循环系统(2)。

4.根据权利要求1所述的一种基于卷绕剥离的自动化薄膜电池外延层剥离系统，其特征在于：所述待剥离晶圆片包括下PI支撑层(10)、衬底(13)、外延层(14)和上PI支撑层(12)；其中，下PI支撑层(10)水平放置的带状结构；衬底(13)为圆形薄膜结构；衬底(13)放置在下PI支撑层(10)上；外延层(14)为圆形薄膜结构；外延层(14)设置在衬底(13)上；上PI支撑层(12)为水平放置的带状结构；PI支撑层(12)设置在外延层(14)的上方。

5.根据权利要求4所述的一种基于卷绕剥离的自动化薄膜电池外延层剥离系统，其特征在于：衬底(13)的下表面与下PI支撑层(10)上表面胶粘；衬底(13)与外延层(14)之间设置有AlAs牺牲层；外延层(14)上表面与上PI支撑层(12)胶粘。

6.根据权利要求5所述的一种基于卷绕剥离的自动化薄膜电池外延层剥离系统，其特征在于：所述剥离装置(3)包括辅助开口斜面(9)和转轴(11)；辅助开口斜面(9)倾斜放置；待剥离晶圆片贴放在辅助开口斜面(9)的上表面；转轴(11)设置在辅助开口斜面(9)的上表面；通过转轴(11)实现对待剥离晶圆片的剥离。

7.根据权利要求6所述的一种基于卷绕剥离的自动化薄膜电池外延层剥离系统，其特征在于：所述转轴(11)带有自加热系统，实现对转轴(11)加热，易于对待剥离晶圆片的剥离。

8.根据权利要求7所述的一种基于卷绕剥离的自动化薄膜电池外延层剥离系统，其特征在于：所述剥离装置(3)的工作过程为：

转轴(11)沿辅助开口斜面(9)的斜面向下滚动，当与上PI支撑层(12)接触时，上PI支撑层(12)粘接到转轴(11)的侧壁；转轴(11)继续向下滚动；外延层(14)随上PI支撑层(12)从衬底(13)上剥离；上PI支撑层(12)带着外延层(14)传输至传送系统(4)上，传送出去。

9.根据权利要求8所述的一种基于卷绕剥离的自动化薄膜电池外延层剥离系统，其特征在于：外延层(14)与衬底(13)剥离时，离液循环系统(2)中的腐蚀液体实现对AlAs牺牲层的腐蚀，辅助外延层(14)与衬底(13)剥离。

10.根据权利要求8所述的一种基于卷绕剥离的自动化薄膜电池外延层剥离系统，其特征在于：转轴(11)自加热后，与上PI支撑层(12)粘合为一体，实现上PI支撑层(12)随转轴(11)的转动而打开。