[发明专利]一种组合物、制备方法及其在晶圆激光切割中的应用在审
| 申请号： | 202211675936.5 | 申请日： | 2022-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN116004072A | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 侯军;马超男;褚雨露;张楠 | 申请（专利权）人： | 浙江奥首材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C09D133/26 | 分类号： | C09D133/26;H01L21/304;C09D133/02;C09D135/00;C09D7/48;C09D7/63;C09D5/08 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 常孟 |
| 地址： | 324012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种组合物、制备方法及其在晶圆激光切割中的应用，组合物以质量份计，包括：水溶性树脂20‑35份；流平剂0.05‑0.3份；紫外线吸收剂0.1‑0.5份；缓蚀剂0.1‑3份；增塑剂2‑10份；有机溶剂45‑70份；去离子水15‑30份；其中，水溶性树脂包括亲水基团，亲水基团选自羟基、酰胺基、羧基中的任一种或多种。本申请采用具有酰胺基、羟基、羧基等亲水基团且分子量介于50000‑80000的水溶性树脂，提高了组合物在晶圆表面的成膜性，能够适应不同形状的晶圆基材，并且由于以上亲水基团的存在，使得组合物形成的保护膜在切割工艺完成后能够被水溶解并快速清洗去除，大幅提高制备工艺的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组合 制备 方法 及其 激光 切割 中的 应用 | ||
【主权项】：
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C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D133-00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是仅以1个羧基或其盐、酐、酯、酰胺、酰亚胺或腈为终端；基于此种聚合物的衍生物的涂料
C09D133-02 .酸的均聚物或共聚物；其金属盐或铵盐
C09D133-04 .酯的均聚物或共聚物
C09D133-18 .腈的均聚物或共聚物
C09D133-24 .酰胺或酰亚胺的均聚物或共聚物
C09D133-26 ..丙烯酰胺或甲基丙烯酰胺的均聚物或共聚物
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