[发明专利]硅料熔化方法、单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置在审
| 申请号： | 202211670780.1 | 申请日： | 2022-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN116200811A | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 韩伟;邓浩 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B15/14;C30B27/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 周海业 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种硅料熔化方法、单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置。所述硅料熔化方法包括：提供炉体，所述炉体内装有坩埚和加热器；将硅料装入所述坩埚中；将所述炉体内的炉压以第一预设速率调节至第一预设范围；将所述加热器的功率以第二预设速率调节至第二预设范围，以加热所述坩埚内的硅料；保持第一预设时长，直至所述硅料熔化成硅液。本申请实施例中，通过抑制氢跳的现象，有利于颗粒料的大规模应用，降低单晶硅棒的原料成本和生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 熔化 方法 单晶硅 拉制 装置 | ||
【主权项】：
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