[发明专利]一种基于点状碳纳米管阴极的电离真空计在审
| 申请号： | 202211670229.7 | 申请日： | 2022-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN115839795A | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 张虎忠;李得天;成永军;李刚;马卓娅;葛金国;姚鹏 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01L21/30 | 分类号： | G01L21/30 |
| 代理公司： | 北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙) 11938 | 代理人： | 饶小平 |
| 地址： | 730010 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 一种基于点状碳纳米管阴极的电离真空计本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种基于点状碳纳米管阴极的电离真空计，包括依次连接的阴极、引出极、聚集系统、电离室、电子收集极以及偏转极，其中：阴极作为场发射电子源，选用生长在不锈钢衬底上的碳纳米管阵列；引出极是中心为栅网的孔板结构；聚集系统包括依次连接的第一透镜、聚集极以及第二透镜；电离室的内部设置有离子收集极；阴极、引出极以及聚集系统设置在电离室的前端，电子收集极以及偏转极设置在电离室的后端。本申请通过控制电子的运动轨迹，实现了电离真空计灵敏度的稳定可靠，通过结构设计实现了电子和离子的空间分离，抑制了电子撞击电子收集极产生的二次电子和X射线对测量的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 点状碳 纳米 阴极 电离 真空计 | ||
【主权项】：
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