[发明专利]应用于外延生长的托盘和外延生长反应室在审
| 申请号： | 202211663210.X | 申请日： | 2022-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN115852479A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 刘雷;林桂荣;邢志刚;张志明;梁新华 | 申请（专利权）人： | 楚赟精工科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B25/14 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 吴浩 |
| 地址： | 201210 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种应用于外延生长的托盘和外延生长反应室。该托盘包括分立的第一组成部和第二组成部；第一组成部的中心区域设有贯穿的凹进部；第一组成部和/或第二组成部设有一个或多个沟槽，沟槽与托盘外侧面的空间及凹进部连通；第一组成部和第二组成部堆叠组合后在托盘内部形成导气通道。该托盘在外延生长反应过程中能够利用托盘中心区域上侧与托盘外侧的压力差，并利用文丘里原理，使得托盘上侧的一部分气体通过导气通道流动至托盘外侧，以此来增加托盘上方中心区域的气体流动速度，减少托盘上方中心区域气流的驻留，从而抑制托盘上方中心区域由于托盘旋转以及热浮力产生的对流及涡流现象，提升气体源的利用效率，提高晶片外延生长均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 外延 生长 托盘 反应 | ||
【主权项】：
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