[发明专利]一种丝网印刷工艺图形的制备方法

摘要

本发明公开了一种丝网印刷工艺图形的制备方法，属于半导体制备技术领域，其特征在于，包括：S1、将晶圆放置在样品台上，对晶圆进行定位；S2、网板印刷：对待制备图形的晶圆进行网板印刷；S3、胶体固化：将涂有工艺胶体的晶圆进行胶体固化；S4、去胶：对晶圆进行去胶。本发明采用丝网印刷法可以进行自动或手动进行图形制备，无需光刻机，最大程度降低了生产成本；本发明丝网印刷的方法进行图形制备，对晶圆的粗糙度要求相对较低，可以在非抛光的晶圆表面进行图形制备；本发明相较金属板掩膜的方法，能够制备图形的线条更细，可以制备封闭图形，无需定期进行清洁处理，不会随着使用而变形造成沉积金属绕射等问题。